控制精度可以從四個指標進行考察：

瞬時靜態誤差：這種控制誤差是由伺服閥的誤差決定的，往往是在瞬間產生，不過這種誤差很少出現。例如;伺服閥分辨率和滯環，由于負載變化而引起的壓力增益偏差等。

長期靜態誤差：是由于溫度漂移，伺服閥組件磨損等原因而引起的。最壞的情況是伺服閥樣本中所有誤差累加在一起。

積分的使用：積分器通常用于消除長期的靜態誤差。在時間平均的基礎上，積分器將產生0控制誤差，但這并不意味著靜態誤差始終為0(靜態誤差的平均值為0)。即使可以迅速進行校正，仍會發生類似于瞬時的靜態誤差(瞬時誤差就是瞬間的偏差信號)。

峰峰值誤差(抖動)：靜態和低頻工作時有時可能會出現高頻抖動。通常，這種情況是由于機械設計不合理，缸(或者閥芯)的摩擦力太大，游隙，電信號噪聲等導致的。這種類型的誤差很難計算(這種誤差是非線性誤差)。

跟隨誤差：是跟隨斜坡命令時產生的(跟蹤)誤差。誤差與斜坡速度成比例地增加，可以根據瞬間的跟隨誤差或跟隨滯后來計算;達到指令值所需的時間。

注意：

1.控制器無法觀察到任何測量形式的誤差。測量誤差應該疊加到控制器的總誤差上。傳感器誤差通常屬于長期誤差;例如由于溫度漂移。

2.實際上，對于電反饋閥，閥總的瞬時誤差可能約為1%，甚至更低。長期誤差可能高達10%，但一般情況下約為5%(即使有穩態誤差，也并不影響閥的工作。因為電路板的PID模塊會給出相應的偏差信號予以糾正)

3.可以通過積分作用(在某些情況下)或速度前饋(后面會重點介紹)在某種程度上消除跟隨誤差。

斜坡信號，是一階有差系統，通過增加積分環節，可以消除跟隨誤差。但是系統的階數不能太高，否則容易引起不穩定。